Metoda za pripremu polisilicijuma.

1. Učitavanje

Postavite obloženi kvarcni lončić na stol za izmjenu topline, dodajte silicijumsku sirovinu, zatim instalirajte opremu za grijanje, izolacijsku opremu i poklopac peći, evakuirajte peć kako biste smanjili tlak u peći na 0,05-0,1 mbar i održali vakuum. Uvesti argon kao zaštitni gas da bi se pritisak u peći održao na oko 400-600mbar.

2. Grijanje

Koristite grafitni grijač za zagrijavanje tijela peći, prvo isparite vlagu adsorbiranu na površini grafitnih dijelova, izolacijskog sloja, silikonskih sirovina itd., a zatim polako zagrijte da temperatura kvarcnog lončića dostigne oko 1200-1300℃. Ovaj proces traje 4-5 sati.

3. Topljenje

Uvesti argon kao zaštitni gas da bi se pritisak u peći održao na oko 400-600mbar. Postepeno povećavajte snagu grijanja kako biste prilagodili temperaturu u lončiću na oko 1500℃, a silicijumska sirovina počinje da se topi. Zadržite oko 1500℃tokom procesa topljenja dok se topljenje ne završi. Ovaj proces traje oko 20-22 sata.

4. Rast kristala

Nakon što se silicijumska sirovina otopi, snaga grijanja se smanjuje kako bi temperatura lončića pala na oko 1420-1440℃, što je tačka topljenja silicijuma. Zatim se kvarcni lončić postupno pomiče prema dolje, ili se izolacijski uređaj postepeno podiže, tako da kvarcni lončić polako napušta zonu grijanja i stvara razmjenu topline sa okolinom; istovremeno, voda prolazi kroz ploču za hlađenje kako bi se smanjila temperatura taline sa dna, a kristalni silicijum se prvo formira na dnu. Tokom procesa rasta, sučelje čvrstog i tekućeg uvijek ostaje paralelno s horizontalnom ravninom sve dok se rast kristala ne završi. Ovaj proces traje oko 20-22 sata.

5. Žarenje

Nakon što je rast kristala završen, zbog velikog temperaturnog gradijenta između dna i vrha kristala, u ingotu može postojati termički stres koji se lako ponovo slomi tokom zagrijavanja silikonske pločice i pripreme baterije. . Stoga, nakon što je rast kristala završen, silicijumski ingot se drži blizu tačke topljenja 2-4 sata kako bi temperatura silicijumskog ingota bila ujednačena i smanjio termički stres.

6. Hlađenje

Nakon što se silicijumski ingot žari u peći, isključite snagu grijanja, podignite uređaj za toplinsku izolaciju ili potpuno spustite silicijumski ingot i unesite veliki protok plina argona u peć kako biste postupno smanjili temperaturu silicijumskog ingota na blizu sobna temperatura; istovremeno, pritisak gasa u peći postepeno raste sve dok ne dostigne atmosferski pritisak. Ovaj proces traje oko 10 sati.